반도체 공정 - 6. 금속 배선 공정

 

 

금속 공정?

 

전기적 신호가 잘 전달되도록 반도체 회로 패턴에 따라 전기길(금속선)을 연결하는 작업

반도체의 회로 패턴을 따라 금속선(Metal Line)을 이어주는 과정

 

 

 

알루미늄 박막 공정

알루미늄 공정

알루미늄은 가격이 저렴하고 높은 전기전도도 및 박막증착이 쉽고 , 산화막(SiO2)과의 접착성이 우수해 금속 공정에 적합한 물질입니다.

하지만 실리콘과 만나면 섞이려는 성질이 있어서, 접합면 사이에 Barrier metal이라 불리는 금속을 넣어 상하는 것을 방지해주어야 합니다.

또 부식이 쉽고 수명이 짧다 또 hillock이 잘 일어나 패터닝이 어렵고 금속선이 개방이나 쇼트가 일어나기 쉬움